中國自解放后不就一直是這個“國家實(shí)驗(yàn)室/研究所”主導(dǎo)幾乎所有科研項(xiàng)目嗎？所以，你問的這件事，真不是個問題。實(shí)際上在中華人民共和國成立的那一天開始，我們就是用你問的這種模式在做科研工作！這是計劃經(jīng)濟(jì)的特點(diǎn)，科研工作也要由國家計劃分配來做！

至此，就剩下第二個問題了，那就是“卡在哪里”是問題了！前面那半截的提問根本不是問題，我國一直是這種“國家試驗(yàn)室/研究所”模式地在進(jìn)行著研究，從來就沒有走歪過一步。

至于現(xiàn)在國產(chǎn)光刻機(jī)的研究“卡在哪里”這個問題，總體上來說就是卡在了“實(shí)用化”階段。

首先，到目前為止，中國對DUV和EUV光刻機(jī)的原理是完全掌握了，而且這個掌握絕對是全世界第一流的，與美國并駕齊驅(qū)的水平，甚至更精深一層也有可能。在任何光刻機(jī)的理論研究大會上，來自中國的科學(xué)家，絕對能夠拿出最漂亮的PPT，把最前沿的光刻機(jī)原理講得頭頭是道！

其次，到目前為止，中國對理論的驗(yàn)證工作也基本上完全完成了，比如什么“雙工作臺”、“光源”等等，各個環(huán)節(jié)的“道路驗(yàn)證”類的工作也全都圓滿完成，也就是說從“理論”到“實(shí)用”之間已經(jīng)沒有障礙物，所有的“道路”都已經(jīng)親身趟過一遍了，其中的地雷都已經(jīng)排除！這個到任何光刻機(jī)的研發(fā)大會上，來自中國的科學(xué)家，也是能夠拿出絕對漂亮的PPT，講出最精彩的報告！

至此，就是“實(shí)用化”階段的工作了。這就好比火箭上天的原理和“竄天猴”上天的原理一樣，但火箭是由國家航天某廠制造，“竄天猴”是由瀏陽某鞭炮廠制造，但肯定都不是國家的試驗(yàn)室制造。在光刻機(jī)上也是如此，“國家的試驗(yàn)室/研究所”已經(jīng)把理論方面的工作做完了，接下來“實(shí)用化”的工作該誰來做？

但最大的問題是，按照最樸素的“誰投錢誰掙錢”的說法，“試驗(yàn)室/研究所”是用公共資源來進(jìn)行研發(fā)，也就是說，它們的研究資金來源是國家無償提供，那么產(chǎn)出的成果原則上也是無償歸國家所有！但所有人都知道，科研研究與產(chǎn)品研究最大的區(qū)別就是，科研研究是不考慮“性價比”的，哪怕是最后研究失敗，那么這個失敗的經(jīng)驗(yàn)也能算是成果的一種，算是驗(yàn)證了錯誤的道路。但在產(chǎn)品的研發(fā)階段，就要必須考慮“性價比”了，如果投資巨大，但研究不出來怎么辦？

所以，現(xiàn)在就是卡殼在了產(chǎn)品級的“實(shí)用化”研究階段了！更深一步，實(shí)際上就是卡殼在了如何處理實(shí)用化階段的“性價比”問題上。這個問題如果沒有辦法拿出好的解決方案，大概沒有幾個“試驗(yàn)室/研究所”敢向前邁進(jìn)了。畢竟花錢沒出成果怎么個說法沒有，誰敢“豁出去”？

你的想法太簡單，不適合出謀劃策，所以不要亂來。

第一、國家的錢是有限的，科技發(fā)展不全部壓在國家身上。

國家的錢是有限的，不能什么項(xiàng)目都搞，而且政府的資金全部來源于稅收，而搞項(xiàng)目是需要錢的，搞的項(xiàng)目越多需要的錢就越多，而需要的錢越多那么需要增加的稅收就越多。

因此，政府的搞得項(xiàng)目越多，意味著社會稅收越重，而社會稅收過重人民就會貧窮。

為了避免這種情況發(fā)生，我們應(yīng)該要善于利用社會富人的錢來推動社會科技，讓有錢人去搞科技。

讓有錢人去搞科技有非常多好處。

第一：有錢人拿錢出來搞科技，不但可以促進(jìn)社會財富再流通，還可以為國家增加稅收。

第二：讓有錢人去搞科技，使用的是他們自己的，而不是用全國人民的錢，所以無論他們怎么搞都不會導(dǎo)致國家人民貧窮。

第三：讓有錢人搞科技，就算他們失敗，最多也就是他們自己變窮了而已，就當(dāng)他們把財富還給社會好了，如果一來為縮小社會貧富差距做貢獻(xiàn)。

因此，大家不要老是把眼睛盯在國家身上，如果什么科技項(xiàng)目都依賴國家去搞，那么國家就得從所有人身上去收稅，國家搞的項(xiàng)目越多人民就越窮。所以這樣的搞法不但無法讓國家富強(qiáng)，反正增加民眾與政府的矛盾。項(xiàng)目搞成功了還好好，政府可以通過項(xiàng)目盈利后再饋還人民緩解矛盾，可是一旦項(xiàng)目失敗，后果就會變的非常嚴(yán)重。

一個國家科技發(fā)展的主力，絕對不能是政府，而應(yīng)該是社會資本，尤其是社會上的富人。他們?nèi)ジ憧萍及l(fā)展在經(jīng)濟(jì)社會下是的最優(yōu)選擇，他們搞成功了對大家都有好處，就算他們搞失敗了同樣是有好處。

所以我們要鼓勵有錢人去搞科技研發(fā)，而不是鼓勵國家去搞科技研發(fā)。

第二、政府不適合搞商業(yè)性太強(qiáng)的科研項(xiàng)目。

商業(yè)性太強(qiáng)的科技項(xiàng)目就是以盈利為目的的科研項(xiàng)目。

盈利越大的項(xiàng)目，風(fēng)險往往越大，失敗概率非常高，這種項(xiàng)目不管誰去搞風(fēng)險都是一樣的，成功了就賺的要死，失敗了就虧的要死。

如果政府去搞這種項(xiàng)目失敗了會被罵死，成功了也會被罵死，你們知道為什么嗎？

因?yàn)檎氵@種項(xiàng)目一旦失敗，就相當(dāng)于讓全國人民的錢打水漂，如此一來不被全國人民罵死才怪。

失敗被罵，那么成功了為什么還會被罵？

因?yàn)橘嶅X太多被罵，畢竟你是用人民的錢搞成功的項(xiàng)目，項(xiàng)目成功后還高價賣給人民，人民不罵才怪。

也許有人會說，那賣低一點(diǎn)價格不就得了，在這里我只能告訴大家，這個價格就算政府想低也低不了。如果政府的價格低過行業(yè)價格，會破壞整個行業(yè)的生態(tài)系統(tǒng)，牽一發(fā)而動全身，會導(dǎo)致全國乃至全球在這個行業(yè)中很多公司乃至個人破產(chǎn)，當(dāng)很多人出現(xiàn)破產(chǎn)時，會引發(fā)各種債務(wù)危機(jī)，最后有可能會演變成金融危機(jī)、乃至經(jīng)濟(jì)危機(jī)。

由此政府搞的盈利項(xiàng)目他也遵循市場規(guī)律的，而高科技盈利項(xiàng)目的利潤是很大的，到時候政府賺太多錢了，還不知道你們會怎么罵呢。

第三、消費(fèi)型盈利高科技項(xiàng)目，只能由社會來做。

政府是一個管理組織，而不是一個盈利組織，所以政府不能與民爭利，因?yàn)檎绻c民爭利的話，沒人能夠爭的過政府。

如此一來就會導(dǎo)致全社會都不敢爭，結(jié)果就是全社會的資本什么都不敢做，什么都不敢投資，如此一來社會經(jīng)濟(jì)的活力就會壓制，一旦經(jīng)濟(jì)活力被壓制那么各方面的發(fā)展都會停滯。

所以，非民生必要性經(jīng)濟(jì)項(xiàng)目，政府最好不要參與，一旦參與對社會影響是非常不好的。

高端光刻機(jī)的研發(fā)目的是為了制造高端芯片，并且生產(chǎn)高端手機(jī)，它的消費(fèi)對象往往是高消費(fèi)人群，這種產(chǎn)品并非大眾型消費(fèi)產(chǎn)品，而且具有較高的利潤，國家不適合直接參與。

第四、政府對由社會資本主導(dǎo)的產(chǎn)業(yè)，只能在必要時扶一把。

高端光刻機(jī)對一個國家手機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，的確具有很高的戰(zhàn)略意義，但是手機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是由社會資本主導(dǎo)的，社會資本想要在這個行業(yè)中上升到什么程度，那時候他們已經(jīng)決定的。

介于手機(jī)產(chǎn)業(yè)由社會資本主導(dǎo)，所以就算國家投巨資研發(fā)出光刻機(jī)，但是只要主導(dǎo)該產(chǎn)業(yè)的社會資本沒有上進(jìn)心，那么給他再好的芯片，他們也同樣做不出世界最好的手機(jī)。

畢竟并不是安裝了一流芯片的手機(jī)就會成為世界一流的手機(jī)，整個手機(jī)里面除了芯片之外還有其他很多東西，單單芯片好代表不了什么的，但他們總不能什么都依賴國家給他們研發(fā)吧？

假如他們上進(jìn)，那么他們自然會在方方面面努力，不需要國家操心。

假如他們不上進(jìn)，國家再為他們操心，他們也是扶不起的爛泥巴。

所以國家在面對這種由社會資本主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，就算再有戰(zhàn)略意義，也只能在他們努力的過程中出現(xiàn)余力不足的情況下扶他們一把，而不是既做他爹又做他媽，什么都要幫他們準(zhǔn)備好。

額。。。。。。現(xiàn)在不就是這樣的模式嗎？不然你以為什么研究院、第XXX所是干什么的？國企央企啥的是干什么的？至于中國現(xiàn)在沒有光刻機(jī)？第一中國有光刻機(jī)，只是比較低端，沒有的是高端光刻機(jī)。為什么沒有高端光刻機(jī)，我覺得得分兩方面，第一是我們的基礎(chǔ)工業(yè)確實(shí)比別人落后，就是那些關(guān)鍵器件，比如光源啥的，需要很強(qiáng)的基礎(chǔ)工業(yè)支持，這方面中國還是落后一些。第二是以前有個概念，就是造不如買，買不如租的思想，加上以前中國百廢俱興，有限的錢要花在更多的地方，所以就有所取舍了。

這個問題我前幾天剛在別的地方回答過，再說一遍吧

光刻機(jī)這玩意真不是花錢就能搞出來的。

有人說，不缺錢的話，直接去挖別人的高級人才不就行了？把他挖過來，技術(shù)就過來了。這就很天真了，國外的大企業(yè)每年上百萬的法律顧問費(fèi)用花來是干嘛的？且不說你挖過來的人要面臨大量的阻礙，比如競業(yè)協(xié)議，巨額賠償?shù)鹊龋退隳阃谶^來了，大量的技術(shù)專利都在被人廠家手上，挖過來的技術(shù)人才也是沒有辦法使用的。

有人說，那我就自主研發(fā)，開高工資，廣招人才，華為不就砸出來全球領(lǐng)先的麒麟處理器嗎？

嗯，科普一下，華為 設(shè)計 的麒麟處理器確實(shí)是全球最領(lǐng)先的手機(jī)處理器，但是落實(shí)到制造，華為還是無能為力，還是得靠光刻機(jī)。那么，自主研發(fā)的難度在哪里呢？

除了前面說的專利壁壘問題，還有一個就是技術(shù)迭代的問題。目前我國最強(qiáng)的芯片制造企業(yè)中芯國際的穩(wěn)定技術(shù)在14nm和12nm，離目前一流的5nm技術(shù)中間還差了2代技術(shù)。中芯國際目前可以通過N+1技術(shù)，直接將12nm提升到7nm，但是離5nm還有至少1年半的空檔期。

難就難在這個一年半，即使一年半之后我們攻克了5nm技術(shù)，這1年半里面，別人也不會停下來等我們，到時候也許會有更先進(jìn)更穩(wěn)定的技術(shù)產(chǎn)生。

不過好消息是，芯片制造技術(shù)目前是有天花板的，越接近天花板，推進(jìn)速度就會越慢。只要我們持續(xù)加速，總有一天會追上國外技術(shù)，甚至超越。

“卡在哪里”、“為什么沒有人提出”？這 2 個問應(yīng)該是一個意思。

是啊，荷蘭ASML公司拿到的EUV技術(shù)，當(dāng)時就是在美國能源部牽頭下由EUV LLC組織研發(fā)出來的。該組織的成員單位除了英特爾、摩托羅拉和AMD，就是享有盛譽(yù)的美國三大國家實(shí)驗(yàn)室——勞倫斯利佛莫爾、勞倫斯伯克利、桑迪亞了，幾百位頂級科學(xué)家從理論上驗(yàn)證了EUV量產(chǎn)的可能性，ASML則成為了EUV方案的實(shí)踐者。

其實(shí)我們國家也采用了這樣的模式。過去是，現(xiàn)在還是。據(jù)報道，中科院組織研發(fā)光刻機(jī)技術(shù)的歷史已近30年，這就是由“國家出錢”，顯然是國家的布局，就是要“交給企業(yè)制造并改進(jìn)”。事實(shí)上，中科院長春光機(jī)所早在20年前就開始了對EUV技術(shù)的探索，重點(diǎn)是光源、多層膜、相關(guān)的成像技術(shù)，形成了極紫外光學(xué)的應(yīng)用技術(shù)基礎(chǔ)，與國際上處在相同的水平；2002年，研制出國內(nèi)第一套EUV光刻原理裝置；2017年，所承擔(dān)“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收，歷經(jīng)了8年，參加單位包括中科院光電技術(shù)研究所、中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所、中科院微電子研究所和北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華中科技大學(xué)。上海微電子已在2017年推出的90納米光刻機(jī)整機(jī)、將在今明兩年推出的28納米光刻機(jī)整機(jī)，所依托的技術(shù)主要是這么來的，已經(jīng)、正在大大降低制造風(fēng)險、加快制造速度、提升制造水平，無不彰顯了“調(diào)動國家資源突破瓶頸的優(yōu)勢”。如今，28納米光刻機(jī)，即28納米工藝節(jié)點(diǎn)的193納米波長光刻機(jī)，屬DUV系列，應(yīng)該是在進(jìn)行“最后”的攻關(guān)。

中科院在2020年9月6日正式宣布已成立光刻機(jī)科研小組。同時表示“被封鎖的清單就是研制任務(wù)的清單”，今年1月又表示已部署新技術(shù)路線光刻機(jī)的研制。緊接著“正式宣布”，中科院長春光機(jī)所就宣布獲批“中國科學(xué)院精密光電制造技術(shù)工程實(shí)驗(yàn)室”。到此可知，根本就不存在“為什么沒有人提出”采用這樣模式的問題，即根本就不存在“不能建立國家實(shí)驗(yàn)室、由國家出錢研發(fā)光刻機(jī)”這個事及其“卡在哪里”的問題！那么，“被封鎖的清單”上有光刻機(jī)嗎？有！什么光刻機(jī)被封鎖了？當(dāng)然是EUV光刻機(jī)，ASML不是賣給了我們國內(nèi)DUV光刻機(jī)了嘛，中端的；中芯國際在2018年下了訂單的那臺EUV光刻機(jī)不是至今也沒到貨嗎，高端的，這是因?yàn)槊绹秃商m明明知道上海微電子已有低端的、將有中端的，而且還知道是國產(chǎn)化的，國產(chǎn)化的哪里會卡得住；又知道，上海微電子制造出EUV國產(chǎn)光刻機(jī)還早著呢，還沒有，當(dāng)然就能卡住。

該問題目中的“卡在哪里”是問我們國家的光刻機(jī)嗎？如果是，回答就應(yīng)該是：近，卡在中端光刻機(jī)上；遠(yuǎn)，卡在高端光刻機(jī)上。而由于推出制造成功的DUV國產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)在即，馬上就有了，近得很，簡直只可以說是僅僅卡在EUV光刻機(jī)上，雖然一定能造出來、造成功，因?yàn)閮H就中科院系統(tǒng)來說就已經(jīng)有了20多年的技術(shù)積累，然而，卻一時半會還造不出來，將來造成功的第一臺高端國產(chǎn)化光刻機(jī)在技術(shù)上還是跟世界頂級的光刻機(jī)有很大的差距，但是，從造成功7納米的國產(chǎn)化光刻機(jī)那時開始，就再也不會有誰能卡住我們國家了，而且，盡管我們國內(nèi)在那個時候只是僅僅有了7納米的光刻機(jī)，也可以肯定：美國政府以及荷蘭政府將無需ASML和臺積電的申請，就會馬上以至提前地一前一后下達(dá)關(guān)于向我們國內(nèi)提供其5納米以至3納米的光刻機(jī)和代工的指令，而ASML和臺積電將緊接著，急三火四地分別上門向我們國內(nèi)的高端自主芯片制造企業(yè)和高端自主芯片設(shè)計企業(yè)推銷。

在前些日子中科院院長白春禮宣稱接下來要集中攻關(guān)美國“卡脖子”的一些技術(shù)，第二天任老就帶著華為的相關(guān)人員拜訪了中科院，并且進(jìn)行了一系列的商討會議。很多人覺得這是華為要和中科院聯(lián)手成立國家實(shí)驗(yàn)室來突破EUV光刻機(jī)技術(shù)，不過在我看來這種可能性并不算大。畢竟想要制造出一臺完整的EUV光刻機(jī)，中國現(xiàn)在缺少的條件實(shí)在是太多了。

EUV光刻機(jī)是全球產(chǎn)業(yè)鏈的產(chǎn)物

估計大家對ASML這個公司都有所耳聞，這個荷蘭的公司霸占了全球高端光刻機(jī)的市場，沒有任何一個企業(yè)可以與之抗衡。ASML之所以能有壟斷底氣，靠的就是和全球頂尖企業(yè)的密切合作。

比如EUV光刻機(jī)上的光學(xué)鏡頭，目前只有德國的卡爾蔡司一個企業(yè)能夠提供；光刻機(jī)使用的光刻膠，目前市場也被日本牢牢的把持著；EUV光刻機(jī)上有八萬多個部件，其中很多都涉及到行業(yè)壟斷問題；這些稀有的零件讓EUV光刻機(jī)無法被其他企業(yè)復(fù)制，只能看著ASML賺的盆滿缽滿。

如果中國真的想要造出來EUV光刻機(jī)，那就意味著中國企業(yè)要在所有環(huán)節(jié)和全球的企業(yè)進(jìn)行對抗。國外的企業(yè)已經(jīng)在自己的行業(yè)深耕多年才積累了足夠的技術(shù)，中國的企業(yè)想要短時間突破所有環(huán)節(jié)的可能性基本上為0。

即使能造出EUV光刻機(jī)也是得不償失

當(dāng)然如果我們舉全國之力是否能夠造出來EUV光刻機(jī)呢？這點(diǎn)我相信國家的力量，但是這明顯是虧本買賣。

首先這就需要國家?guī)资耆缫蝗盏某掷m(xù)投入，并且在政策和資金上給予相關(guān)企業(yè)扶持，保證研發(fā)不會因?yàn)槠髽I(yè)自身的生產(chǎn)經(jīng)營而被迫中斷。如果國家舍得大力氣投入，我相信是能節(jié)省一定的時間的。

其次需要國外的技術(shù)對我們國家開放，這樣我們就能更快的推進(jìn)項(xiàng)目進(jìn)度；只要能給我們技術(shù)，多掏點(diǎn)專利費(fèi)完全可以接受。不過美國一向在這件事上相當(dāng)?shù)男猓跃退汩_放了專利，我們能獲得的幫助估計也非常有限。

最后我們辛辛苦苦投入巨額的人力物力造出來后，可能在性能上已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后ASML最新的光刻機(jī)，那我們辛苦這幾十年將變得毫無意義。

最好的選擇是合作，想要未來超車只能繞過光刻機(jī)

我相信國家的相關(guān)人員肯定也能看出來自研EUV光刻機(jī)確實(shí)不太現(xiàn)實(shí)，那么選擇合作就是最優(yōu)的選擇。雖然這看起來有點(diǎn)低聲下氣，但是承認(rèn)自己確實(shí)做不好又不算丟臉，總比一直盲目自信要強(qiáng)的太多。

現(xiàn)在我們已經(jīng)很難繞過國外已經(jīng)形成的光刻機(jī)技術(shù)壁壘，想要在未來實(shí)現(xiàn)超車只能選擇開發(fā)出一種不需要光刻機(jī)的芯片制造技術(shù)。這樣道路前面全是未知，我們也有領(lǐng)先全球的可能性。

目前來看最可能技術(shù)還是碳基芯片，不過這項(xiàng)技術(shù)還停留在實(shí)驗(yàn)室的階段，目前并沒有實(shí)現(xiàn)商用。如果國家覺得這個方向可行并且加大投入的話，未來很可能讓我們走出來一條可以和硅基芯片媲美的道路，國外的壟斷封鎖也就自然不攻自破了。

簡單點(diǎn)來說現(xiàn)在自研光刻機(jī)時間長、難題多、效益低、回本難，絕對算是一個虧本買賣。況且光刻機(jī)目前使用的場景并不打算多，遠(yuǎn)達(dá)不到非解決不可的程度。國家的資源畢竟有限，如何用最小的投入產(chǎn)出足夠的成果，有所取舍國家才能收獲的更多。

不是沒人提出，而是國家早就在做了，只不過普通老百姓沒有感覺而已，如果不是華為被美國實(shí)施“芯片禁令”，估計大家連光刻機(jī)這三個字都沒聽過

鮮為人知的中國“02專項(xiàng)”

事實(shí)上，對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)未來的發(fā)展，我國一直有著比較先知先覺的認(rèn)知，總結(jié)我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展可以用“起了個大早，趕了個晚集”來形容

早在1966年，109廠與上海光學(xué)儀器廠協(xié)作，研制成功我國第一臺65型接觸式光刻機(jī)，由上海無線電專用設(shè)備廠進(jìn)行生產(chǎn)并向全國推廣，此時荷蘭的ASML還未誕生，美國和日本的光刻技術(shù)也并不比我們先進(jìn)

隨后到了80年代，為了快速發(fā)展經(jīng)濟(jì)，“造不如買”的思想盛行，國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)入慢車道，這一落后就是20年

直到2002年左右，國家認(rèn)識到光刻機(jī)自主化技術(shù)的重要性和緊迫性，因此下決心在“十二五”期間將光刻機(jī)作為微電子裝備首要攻關(guān)項(xiàng)目，提出了《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項(xiàng)目，因次序排在國家重大專項(xiàng)所列16個重大專項(xiàng)第二位，在行業(yè)內(nèi)被稱為“02專項(xiàng)”。

國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭--上海微電子

2002年3月，為了盡快推動國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)程，在國家科技部和上海市政府共同推動下，由多家企業(yè)集團(tuán)共同出資，以“用中國人的光刻機(jī)造中國芯”為目標(biāo)，國產(chǎn)光刻機(jī)企業(yè)--上海微電子裝備有限公司（SMEE）誕生！

上海微電子是一家具有國資背景且商業(yè)化運(yùn)營的企業(yè)，主要任務(wù)就是為我國芯片制造企業(yè)提供高端光刻機(jī)，它自身也承擔(dān)了“02專項(xiàng)”的多個科技預(yù)研項(xiàng)目，比如“浸沒光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)預(yù)研項(xiàng)目”、90nm/65nm/28光刻機(jī)研制等

除此之外，中科院、清華大學(xué)、長春光機(jī)所、國防科技大等十?dāng)?shù)家科研院所和高校也參與到了“02專項(xiàng)”里面來，由國家提供撥款，分別攻克光刻機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)

2007年，上海微電子成功研制出中國首臺90nm高端投影光刻機(jī)，成為世界上繼荷蘭ASML、日本尼康和佳能之后，第四個掌握高端光刻機(jī)系統(tǒng)設(shè)計與集成技術(shù)的企業(yè)，不過其中大量的器件依賴歐美，很快，歐美國家開始對相關(guān)器件進(jìn)行封鎖

隨后的數(shù)年時間里，中科院、清華大學(xué)、長春光機(jī)所等分別突破了90nm光刻機(jī)最核心的幾項(xiàng)技術(shù)：光學(xué)系統(tǒng)、激光光源、光刻機(jī)浸液系統(tǒng)、光刻機(jī)工作臺，這才算徹底實(shí)現(xiàn)了90nm光刻機(jī)的國產(chǎn)化

沒辦法，高端光刻機(jī)實(shí)在太復(fù)雜，一臺機(jī)器包含數(shù)萬個零件，ASML的光刻機(jī)之所以研發(fā)速度快，那是因?yàn)?0%的零件不需要自己研發(fā)，比如光刻軟件和光源由美國提供、鏡頭由德國卡爾蔡司提供、軸承由瑞典提供等，而我們都得靠自己

寫在最后

歷經(jīng)十幾年發(fā)展后，目前上海微電子已經(jīng)申請了各類專利超過3200多項(xiàng)，涉及光刻機(jī)、激光與檢測等多個領(lǐng)域，中科院、清華大學(xué)等科研院所也積累的大量的光刻機(jī)核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了0到1的突破，未來將集中科研力量，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)突破！

今年6月份，中國首臺28nm工藝的浸沒式光刻機(jī)宣布研發(fā)成功，其性能直接追上ASML最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，這樣7納米及以上的芯片，就都能生產(chǎn)了！

根據(jù)“02專項(xiàng)”計劃和上海微電子的研發(fā)進(jìn)展，預(yù)計國產(chǎn)28納米DUV光刻機(jī)將于明年正式量產(chǎn)交付，后續(xù)產(chǎn)能提升上來之后，至少保證我國90%的芯片需求，都能實(shí)現(xiàn)自研、自產(chǎn)、自銷！

值得一提的是，最近三個月內(nèi)，ASML的CEO、中國區(qū)總裁沈波等人接連表態(tài)，ASML的DUV光刻機(jī)可以不受限制的供應(yīng)給中國，可見，歐美企業(yè)總是喜歡玩“錦上添花”那一套，從來不會有雪中送炭的時候，這也從另一方面激勵我們，核心技術(shù)必須拿下，再難也要啃下去，EUV光刻機(jī)的突破，也只是時間問題而已

首先，國家有自己的實(shí)驗(yàn)室，也有國產(chǎn)的光刻機(jī)，相對比較低端而已，并且國家在技術(shù)和研發(fā)上從未停止過，光刻機(jī)不是一個普通的硬件，有錢有人就能解決的，他需要完善的尖端工業(yè)和技術(shù)配套，外國人在這塊已經(jīng)耕耘了好多年，從材料配件生產(chǎn)和人員技術(shù)都已形成體系，再加上長期以來的圍堵和技術(shù)封鎖，和發(fā)動機(jī)一樣，都對我們在尖端科技領(lǐng)域的突破造成了影響，以我們國家現(xiàn)有的投入和機(jī)制，光刻機(jī)，發(fā)動機(jī)以及芯片技術(shù)的突破只是時間問題!

由國家出錢研發(fā)光刻機(jī) 作用不大 市場化研發(fā)可能要好 國家出錢研發(fā)就好比現(xiàn)在的航空發(fā)動機(jī) 激勵效果不好 所在的單位就是這樣 拿著這個項(xiàng)目每年可以向國家拿錢 等真正有眉目的時候又已落后發(fā)達(dá)國家十幾年了 以前我們單位那個40號機(jī)就這樣 拖著好多年 領(lǐng)導(dǎo)和底下也知道如果早一通過 就不會再有經(jīng)費(fèi) 如列入實(shí)際生產(chǎn) 利潤會很少。還有電腦操作系統(tǒng) 以前中科院自己都說 組織了大量人力物力幾十年 硬是沒有搞出像微軟的系統(tǒng) 直到現(xiàn)在才有華為的鴻蒙系統(tǒng)。所以市場化是根本 可以許諾 國家對搞出先進(jìn)光刻機(jī)的單位和個人予以重獎 把準(zhǔn)備研發(fā)的上千億資金獎給研發(fā)單位 以國家功臣的榮譽(yù)給研發(fā)者。可能效果不一樣。大鍋飯的格式研發(fā) 誰也不要擔(dān)責(zé) 就是更多資金也是水漂 就像航空發(fā)動機(jī) 這幾年兩機(jī)專項(xiàng)資金不少吧 效果不大

首先一個光刻機(jī)的任務(wù)不足以建設(shè)一個國家實(shí)驗(yàn)室。其次，現(xiàn)在中國的科研創(chuàng)新體系分散在中國科學(xué)院，大學(xué)，國防工業(yè)和軍隊，國營企業(yè)，大型民營企業(yè)等很多系統(tǒng)，國家的策劃管理工作的任務(wù)是將研究任務(wù)有效的分散到各個創(chuàng)新系統(tǒng)去，并進(jìn)行集成組織成最終的光刻機(jī)產(chǎn)品。這個任務(wù)需要國家投資，企業(yè)投資，個人投資等等，舉全國之力進(jìn)行研發(fā)。企業(yè)投資研發(fā)的目的獲得銷售回報，國家投資研發(fā)的目的是國家可以實(shí)現(xiàn)對技術(shù)和產(chǎn)品的自主可控，個人投資的目的少數(shù)是家國情懷，大多數(shù)是搭車獲得高回報