不吹牛的說,市面上存在的東西就沒有我們造不出來的,荷蘭人這句話說得有點過了,而且荷蘭人已經(jīng)被打臉了。
白手起家制造原子彈
很多人認為制造光刻機比制造原子彈要難得多,導(dǎo)致越來越多的人認為原子彈很容易制造的假象,其實絕非如此,中國第一顆原子彈耗費了大量的人力、物力、財力。
1955年,新中國成立幾年時間,科技實力和經(jīng)濟水平十分的薄弱,但是沒有阻擋住中國人制造原子彈的決心。
中國的原子彈工程又稱“596計劃”,因為在1959年6月蘇聯(lián)單方面撕毀中蘇國防新技術(shù)的協(xié)定,并撤走了專家,帶走了設(shè)備和圖紙,為了紀念這個艱苦的歲月,命名為“596計劃”。
原子彈是一個龐大的系統(tǒng)工程,包括科研、設(shè)計、制造、生產(chǎn)、試驗等許多環(huán)節(jié),參與的人數(shù)也達到了30萬,除了錢學(xué)森、鄧稼先等科學(xué)家外,還有數(shù)萬名技術(shù)工作者、工程師、民兵、工人和后勤人員等。
制造原子彈最為關(guān)鍵的就是原材料—鈾
鈾是原材料必須的材料,技術(shù)和原料都是高度機密,而且鈾十分昂貴,當時1公斤鈾價值1500萬美元。而當時中國GDP僅為900億人民幣。
第一步就是出動地質(zhì)隊,全國各地、深山老林中尋找鈾礦,經(jīng)過不懈的努力,最后終于在華中地區(qū)探測到了鈾礦。
隨后由工程師、技術(shù)人員、工人等組成的0萬人的龐大隊伍,開始開采鈾礦,按照一枚原子彈需要15公斤鈾計算,就要開采出3000噸高品質(zhì)鈾礦。
10萬人用了10年的時間,終于制造出了2塊鈾坯。
鈾坯制造出后,還需要加工,以當時的設(shè)備和技術(shù),制造工藝絕不亞于現(xiàn)在生產(chǎn)芯片的難度。
加工過程由3人操作:
第一人主刀:每車一刀,厚度僅有頭發(fā)絲的十分之一。
第二人為監(jiān)護:提醒主刀操作,同時及時拾起他車下的鈾屑,防止其積聚在切削盤內(nèi),引起裂變鏈式反應(yīng)。
第三人負責(zé)測量,主刀每車三刀,他就要測量一次,看看還差多少,還要車多少刀。
當時的領(lǐng)導(dǎo)說了一句話,讓所有人都緊張起來了,他說:同志們,鈾-235鑄件只有兩套,一個都不能有任何的損壞。這是我們的命根子,比我們的生命還重要。
主刀叫原公浦,他以精湛的技術(shù),完成了使命,被稱為“原三刀”。
車工完畢后,還有很多的工作要做。
10個核效應(yīng)大隊(科研、總后、海、陸、空、裝甲、防化、鐵道、工程、炮)需要在試驗現(xiàn)場布置好樓房、車站、汽車、火車、飛機、坦克等各種效應(yīng)物。
而爆炸后,還需要進行測試,需要有一批“敢死隊”進入蘑菇云進行采樣。
就是在極端艱苦的條件下,在百廢待興的時刻,幾十萬人用智慧、奉獻、甚至鮮血制造出了新中國第一顆原子彈。
單從技術(shù)和精確度來看光刻機似乎比原子彈更難制造
光刻機又名曝光機,是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備,將電路結(jié)構(gòu)臨時"復(fù)制"到涂有光刻膠硅片上的過程,制造和維護需要高度的光學(xué)和精密制造技術(shù)。高端光刻機被稱為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”,制造難度很大,全世界只有少數(shù)幾家公司能制造。
目前世界上最先進的光刻機是荷蘭ASML生產(chǎn)的EUV光刻機,這臺光刻機可以生產(chǎn)出最先進的5nm制程芯片。
這臺光刻機僅零部件就超過了十萬個,螺栓數(shù)量超過4萬個,3000多條線路,內(nèi)部軟管加起來,就有兩公里長,設(shè)備重量達到了180噸,如此龐大精密的設(shè)備安裝調(diào)試就需要幾個月。
設(shè)備最精密的部件就是:鏡頭和光源
鏡頭:采用了德國蔡司鏡頭
蔡司是德國著名的光學(xué)儀器廠商,蔡司鏡頭歷史悠久,品質(zhì)優(yōu)良,成為了行業(yè)中“高貴”的代名詞,公司對鏡頭質(zhì)量要求非常高。
一個鏡片,如果工藝不同人打磨,光潔度相差十倍。因此,很多人在一個崗位上一干就是幾十年,擁有幾十年的技術(shù)和經(jīng)驗。
EUV光刻機采用的鏡頭要求:制作一個地球面積大小的鏡頭,誤差在一根頭發(fā)大小。
光源:采用了美國Cymer公司極紫外光
極紫外光是一種波長極短的光(僅為13nm),它是通過激光在特殊技術(shù)下產(chǎn)生的等離子源。
這種光源工作在真空環(huán)境下,產(chǎn)生紫外波長,然后由光學(xué)聚焦形成光束,光束經(jīng)由用于掃描圖形的反射掩膜版反射,由于極紫外光的固有特性,產(chǎn)生極紫外光的方式十分低效,能源轉(zhuǎn)換效率只有 0.02% 左右。
除了鏡頭和光源外,工作環(huán)境也很重要
精密工作臺,工作臺要求:絕對穩(wěn)定的工作環(huán)境,芯片的曝光必須在真空中,并且采取恒溫技術(shù),工作室的空氣要比外界干凈1萬倍,工作臺高速運動期間,系統(tǒng)不能振動。而光刻機要多的事情,就好比在真空、恒溫、無塵、高速運動的環(huán)境中,在一粒米上雕刻清明上河圖,機械動作誤差為皮秒(百萬分之一秒),這些基本都是挑戰(zhàn)人類極限的工作。
這就是世界上最先進的光刻機—荷蘭ASML公司的EUV光刻機,價格約為1.6億歐元每臺,折合人民幣約12.5億元,關(guān)鍵是有錢還不一定能夠買到。
我國已經(jīng)擁有光刻機,而且經(jīng)濟實力和技術(shù)實力大幅提高,造什么都不難,只要有決心。
1955年開始研究原子彈,當時國家GDP約為900億元,中國人口總數(shù)約為6億,平均受教育程度不足3年。
今天,我國GDP突破了100萬億,人口達到了14億,平均受教育程度突破了10年。
北斗導(dǎo)航全面組網(wǎng)成功,天問一號登上火星,5G、高鐵、量子計算、大飛機等紛紛問世,部分技術(shù)達到了世界領(lǐng)先。
1978年,是我國博士培養(yǎng)的起點,那一年僅僅招收了18名博士生,到了2017年已經(jīng)累計招收博士生約115萬人,現(xiàn)在,中國14億多人口,博士占人口的比重為萬分之5.7。
1955年,中國汽車保有量10.15萬輛,大部分家庭沒有汽車,很多地方的農(nóng)村連一輛都沒有。
2020年全國機動車保有量達3.72億輛,其中汽車2.81億輛;機動車駕駛?cè)诉_4.56億人,其中汽車駕駛?cè)诉_4.18億人。無論是城市還是農(nóng)村,汽車已經(jīng)不在稀奇,甚至很多地方,一個家庭沒有汽車才算是稀奇的事情。
可以說無論從經(jīng)濟實力,科技發(fā)展、受教育程度都發(fā)生了巨大的變化,以目前的實力制造光刻機是完全可以實現(xiàn)的,只是時間的問題,那么我國的光刻機究竟有沒有呢?
1、我們有國產(chǎn)光刻機嗎?
答案是有,生產(chǎn)企業(yè)是上海微電子。
2、國產(chǎn)光刻機現(xiàn)在能做到什么程度?
我們在上海微電子官網(wǎng)可以看到,2018年3月,上海微電子的90nm光刻機項目通過正式驗收。也就是說,我們的國產(chǎn)光刻機目前可以做到90納米工藝。
3、國產(chǎn)28納米光刻機是什么情況?
知名媒體DIGITIMES曾報道,上海微電子有望在2021年四季度交付第二代深紫外光(DUV)光刻機,該設(shè)備可實現(xiàn)28納米工藝。
所以,基本上可以做實,上海微電子的確在做可以實現(xiàn)28納米制程的國產(chǎn)DUV光刻機。只是是否通過驗收,到底何時能交付,目前未知。
荷蘭有人說圖紙給我們也造不出光刻機來,這句話已經(jīng)被否定了。
我國光刻機在精確度上與ASML的EUV光刻機仍有差距
我國的光刻機即將進入28nm,28nm能夠達到什么水平呢?
嚴格意義來說,28nm真的算不上高水平,它的前面還有14nm、7nm、5nm、3nm。
但是28nm成熟工藝,可以生產(chǎn)日常生活中電子設(shè)備芯片,如:汽車、冰箱、空調(diào)、電梯等,而且28nm能夠生產(chǎn)軍用芯片,這些不需要太高的制造工藝,需要的是足夠高的穩(wěn)定性。
28nm芯片,如果用在手機上,那就差強人意了,甚至是無法使用,因為手機空間有限,需要散熱、大容量電池等,那就對芯片尺寸有了很高的要求,也就需要更高的工藝水平,例如5nm、3nm制造工藝。
不同工藝生產(chǎn)出不同性能的芯片,我們以麒麟芯片為例來看一看:
- 麒麟950,16nm工藝制程,30億個晶體管,4x2.3GHz A72+4x1.8GHz A53的架構(gòu);
- 麒麟990,7nm工藝制程,103億個晶體管,包括一個3.13GHz A77大核心、三個2.54GHz A77中核心、四個2.04GHz A55小核心。
- 麒麟9000,5nm工藝制程,153億個晶體管,包括一個3.13GHz A77大核心、三個2.54GHz A77中核心、四個2.04GHz A55小核心。
可以看出,隨著工藝制程不斷的升級,芯片的晶體管數(shù)量也在快速地增加,性能也不斷的變強。
16nm工藝制程的芯片晶體管數(shù)量僅為5nm工藝的1/5,那么28nm與5nm的差距只會更大。
我國的光刻機需要多久能夠達到世界先進水平呢?
以過去的經(jīng)驗來看,我國制造出世界領(lǐng)先的光刻機至少需要20至30年的時間,加上美國對技術(shù)和零部件的封鎖,需要花費的時間會更長。
但是現(xiàn)在的時代是在飛速的發(fā)展,我們同樣也要用發(fā)展的眼光去看待一件事,今天的中國無論是經(jīng)濟還是科技都已經(jīng)上了幾個臺階。
1955年,百廢待興,經(jīng)濟和科技十分落后,中國人咬著牙,硬是造出了原子彈,陳毅元帥的話說:“中國人就是沒有褲子穿,也要造出原子彈”。1964年10月16日,中國第一顆原子彈在羅布泊爆炸成功。徹底打臉了蘇聯(lián)領(lǐng)導(dǎo)人赫魯曉夫(赫魯曉夫曾大言不慚地說中國離開蘇聯(lián)不可能研制成功原子彈)
然而,更為震驚的是不到3年時間,中國第一顆氫彈空爆試驗成功,從第一顆原子彈到第一顆氫彈,白手起家的中國人只用了兩年零八個月的時間,再次創(chuàng)造了奇跡。
1970年4月24日21時中國第一顆人造衛(wèi)星"東方紅一號"發(fā)射成功,由此開創(chuàng)了中國航天史的新紀元,使中國成為繼蘇、美、法、日之后世界上第五個獨立研制并發(fā)射人造地球衛(wèi)星的國家,又一次創(chuàng)造了奇跡,足見中國人可以創(chuàng)造更多的奇跡。
這就是著名的“兩彈一星”工程,也由此產(chǎn)生了“兩彈一星”精神,在這種精神下,我們將無往不利,攻堅克難。定能夠攻破高端光刻機。
事實上,在該領(lǐng)域我們也在不斷地突破:
2018年8月份,清華大學(xué)的研究團隊研發(fā)出了雙工作臺光刻機,我國成為全球第二個具備開發(fā)雙工作臺光刻機的國家。
無獨有偶,2018年11月,中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的“超分辨光刻裝備研制”通過驗收,該裝備采用365nm波長的紫外光單次成像,實現(xiàn)了22納米的分辨率,結(jié)合雙重曝光技術(shù)后,未來還有可能用于制造10nm級別的芯片。
緊接著,在2019年4月,武漢光電國家技術(shù)研究中心甘棕松團隊突破了光束衍射極限,采用遠場光學(xué)的辦法,成功刻出9nm線寬的線段,實現(xiàn)了從超分辨成像到超衍射極限光刻制造的重大創(chuàng)新,這個技術(shù)讓我國打破了三維納米制造的國外技術(shù)壟斷。
近幾年突飛猛進的科技水平,創(chuàng)造了無數(shù)的奇跡,相信在光刻機領(lǐng)域我們同樣能夠創(chuàng)造出奇跡。
根據(jù)研究機構(gòu)IC Insights發(fā)布的《2020-2024年全球晶圓產(chǎn)能》報告,預(yù)計到2024年,半導(dǎo)體制程格局將出現(xiàn)10nm以下,10-20nm,20nm以上工藝三分天下的格局,各自市場占有率約為1/3。
28nm以上的成熟工藝在未來四年的市場份額沒有明顯變化,仍然有很大的市場,在這四年內(nèi),我們的光刻機水平也定能夠再上一個臺階。
問答總結(jié)
如果在1955年時候,制造一枚原子彈和制造5nm工藝光刻機哪個更難?毫無疑問是光刻機。
而時至今日,我國的科技和經(jīng)濟實力已經(jīng)大大提升,在此基礎(chǔ)上制造5nm工藝光刻機會比制造原子彈簡單。
荷蘭有人說圖紙給我們也造不出光刻機來,這句話已經(jīng)打臉了,因為我們已經(jīng)擁有了光刻機,制造商為上海微電子,而且是純國產(chǎn),這一點上比ASML還要牛,因為它生產(chǎn)的光刻機是集合多國精尖技術(shù)于一身打造的,如果受到限制,也只能停產(chǎn)。
總之,我國已經(jīng)擁有光刻機,而且在未來幾年還會擁有更為先進的光刻機。
我是科技銘程,以上是我的回答,希望可以幫到您,如有不妥之處,敬請批評指正!